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material_parameter_used_in_MEMS

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最后更新： 2019-12-23 20:13:37

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备注说明
MEMS 
所属分类：技术管理
开发工具：WORD
文件大小：53KB
下载次数：36
上传日期：2008-03-26 14:49:48
说明：  MEMS中的常用材料参数，这些参数在MEMS器件设计仿真过程经常会被用到。
(MEMS materials commonly used in the parameters, these parameters in MEMS device design and simulation process will be used frequently.)
文件列表：
material_parameter_used_in_MEMS.doc
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